北方华创正式发布CCP介质刻蚀机，实现刻蚀工艺全覆盖

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据北方华创官方公告，今日，北方华创正式发布CCP介质蚀刻机，已在五家客户验证并量产此前，北方华创已经推出了ICP蚀刻机，金属蚀刻机等实现蚀刻过程的全覆盖

北方华创NMC508RIE介质蚀刻机采用8寸设备20年专为8英寸工艺设计的腔体和硬件满足定制要求，6amp8寸兼容，可实现快速切换，目前已在5家客户完成验证和量产，支持18年成熟的软件系统应用，以及稳定的备件系统，配备可靠的供应链，配备全套服务团队，可提供包括工艺开发，零部件供应，软件升级，质保服务等全方位保障

根据官方介绍，NMC508RIE介质刻蚀机具有刻蚀外观好，选择性高，前道工序工艺性能优异的特点，在后期过程中，金属副产物可以得到有效控制，维护周期长，采用多频射频技术具有刻蚀速率高，工艺均匀性好，工艺窗口大的特点，更能满足深孔小CD的应用和发展趋势在晶圆转移平台系统上，采用自主研发的通用平台，具有成熟的软件系统，具有晶圆自动对中的功能，以满足稳定的晶圆转移操作的要求在腔体设计上，采用独特的反等离子体点火结构和精确的电极温控设计，具有温度分区控制功能，并配备终点检测系统，满足均匀性，终点抓取等关键刻蚀工艺要求，颗粒性能良好使用寿命长，维护方便，能满足您低拥有成本和低消费成本的需求作为CCP刻蚀机，在介质刻蚀中具有高选择性和高刻蚀速率的优点，适用于介质氧化硅，氮化硅，氮氧化硅等薄膜材料可为客户提供包括逻辑器件，功率器件，化合物半导体等多种特殊工艺

伴随着NMC508RIE介质刻蚀机的推出，完成了国内设备技术在该领域的最后一个拼图，实现了北方华创在8寸刻蚀设备上的整体解决方案，包括硅刻蚀，深硅刻蚀，金属刻蚀，化合物半导体刻蚀等工艺设备。

北方华创还可以提供8寸设备包括PVD，CVD，ALD，炉管，清洗等，提供整体解决方案

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